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等離子增強物理化學氣相沉積HPCVD包括一臺雙溫區管式爐，一套鎢絲蒸發源，一套等離子發生裝置以及一套質量流量計系統，等離...
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晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝...
晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝置包括三溫區管式爐，特殊設計的爐管及配套氣路一組，晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝置通過特殊設計的管...
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