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5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐是一款快速熱處理爐,其爐腔體是-直徑為12英寸的石英管。 此款設(shè)備專[門實(shí)際針對于熱蒸發(fā)或于頂部和底部) , *大升溫速率為20°C/s。采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié),可設(shè)置30段升降溫程序。儀器面板上安裝有RS485接口,可配用控制軟件將升溫程序和溫度曲線都導(dǎo)入到電腦中。對于探索新一代的薄膜太陽能電池,如CdTe.硫化物和鈣鈦礦結(jié)構(gòu)太陽能電池,這是一款理想的實(shí)驗(yàn)工具。
蒸發(fā)鍍膜爐技術(shù)參數(shù)：
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項(xiàng)目 |
明細(xì) |
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供電電壓 |
AC220V，50/60Hz |
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*大功率 |
10KW |
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結(jié)構(gòu) |
采用兩個(gè)溫度控制器,分別控制頂部和底部兩組加熱元件。安裝有浮子流量計(jì),可向真空腔體中通入氣體 |
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基本參數(shù) |
工作溫度:*高800C推薦加熱速率: ≤10C/s (每個(gè)溫區(qū)單獨(dú)加熱) |
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控溫精度 |
由兩組紅外燈管作為加熱元件,分別位于頂部和底部為了減少熱量輻射和達(dá)到較快的冷卻速率,加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中(不銹鋼殼體采用316不銹鋼.采用導(dǎo)熱率較高的氮化鋁陶瓷片(5" X5^ Xo. 5nn]厚度)作為載樣臺，以達(dá)到較好的加熱均勻性●底部載樣臺.上可放入5° X5*的石墨坩堝來盛放蒸發(fā)原料 |
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溫控系統(tǒng) |
兩個(gè)精密的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制上下兩個(gè)加熱區(qū)，可設(shè)置30段升降溫程序每個(gè)溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護(hù). PC通訊接口,軟件可安裝，可將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中 |
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測溫元件 |
兩個(gè)K型熱電偶. ,安裝在頂部和底部，都與氮化鋁陶瓷片相接觸 |
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使用注意事項(xiàng) |
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-O.1MPa,使用時(shí)會更加**** 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-O.1MPa,使用時(shí)會更 加**** 當(dāng)爐體溫度高于1000C時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 . 石英管的長時(shí)間使用溫度< 1100C 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于 0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生( 如爐管破裂,法蘭飛出等) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊. 石英管的長時(shí)間使用溫度< 1100C 0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生( 如爐管破裂,法蘭飛出等)
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開蓋方式 |
電動升降上蓋 |
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流量計(jì) |
兩路浮子流量計(jì) |
