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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:大型12英寸高精度勻膠機

  • 產(chǎn)品型號:TN-SPC12-HP
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
大型12英寸高精度勻膠機采用大功率伺服電機,配合高精度驅動器轉速分辨率可達0.2rpm,大型12英寸高精度勻膠機可實現(xiàn)對大尺寸樣品勻膠實驗,*大能支持直徑300mm厚度2.3mm的樣品。
詳情介紹:

TN-SPC12-HP 大型12英寸高精度勻膠機 采用大功率伺服電機,配合高精度驅動器,可實現(xiàn)對大尺寸樣品勻膠實驗。*大能支持直徑300mm厚度2.3mm的樣品。本設備采用高精度驅動器,轉速分辨率可達0.2rpm。勻膠腔體采用不銹鋼材質,美觀大方,方便清潔。并且腔體帶有閉鎖裝置,在裝入樣品后能夠閉鎖腔體,防止發(fā)生意外時樣品飛出,能夠有效保護使用者。腔體內(nèi)置排膠口,便于收集廢液。


高精度勻膠機技術參數(shù):

名稱

大型12英寸高精度勻膠機

型號

TN-SPC12-HP

特點

  • 工業(yè)級大功率伺服電機轉速可達3000RPM
  • 高精度驅動器轉速分辨率可達0.2rpm
  • *大能支持直徑300mm厚度2.3mm的樣品
  • 腔體帶有閉鎖裝置,防止發(fā)生意外時樣品飛出
  • 腔體內(nèi)置排膠口,便于收集廢液

技術參數(shù)

  • 勻膠腔體 不銹鋼材質,
  • *大支持直徑300mm厚度2.3mm的晶圓
  • 內(nèi)置排膠口
  • 轉速 ≤3000rpm
  • 轉速分辨率 0.2rpm
  • 控制方式 15英寸全高清觸控屏,可使用USB接口升級程序
  • 供電 AC220V 50Hz 2kW
  • 真空泵 無油真空泵,抽速120L/min
  • 真空接口 KF16


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